深冷處理依深冷處理溫度的高低,分為普通冷處理(-60~-100℃)及超深冷處理 (-160~-300℃)二種
鋼材在淬火后，殘留沃斯田鐵量約在2％～30％之間。也有少到0.15％者與多到30％者，視鋼種及淬火程度而異。殘留沃斯田鐵組織的存在是一種不安定的相，在鋼材中其量越多硬度就越低，會因溫度改變或加工時產生相變化而造成尺寸變化，因此減少殘留沃斯田鐵是相當重要的，但需使淬火冷卻過程中沃斯田鐵不產生安定化，而又需使麻田散鐵量之生成增加，并提高淬火性或減少淬火變形，這些目標往往不易達成。因此在實際運用上則采回火與深冷處理等方法，互相搭配來達到消除殘斯田鐵之目的。但回火處理需在300℃以上方為有效，但又需考慮到回火軟化現象，因此欲不使硬度下降而有效減少殘留沃斯田鐵，深冷處理是有效的。

超深冷處理程序說明：
1. 降溫程序：緩慢的降溫，以0.5~0.7 ℉/min（8～12℃）速率降溫，緩緩的將處理工件之內熱吸出，溫度降至-300℉。
2. 持溫程序：長時間保持于-300℉(約-196℃)的環境中，依材料大小性質而異有8~12Hr持溫時間。
3. 升溫程序：緩慢的加熱，以0.25~0.35℉/min（4～6℃）速率升溫，回到常溫后再加熱至300℉(約150℃)。
4. 制程總時數：24~36Hr